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QH-1800 | 基本參數 |
外形尺寸 mm | 2000×1400×1550（W*D*H） |
有效行程 mm | X1200*Y520*Z50（雙XYZ/單軌） |
軌道高度mm | 900±30 |
軌道承重（含載具）Kg | 5 |
最大基板厚度 mm | 5.5 |
軸數 | X1、Y1、Z1、X2、Y2、Z2 |
驅動方式 | X1/Y1/Z1/X2/Y2/Z2軸采用伺服馬達+精密滾珠絲桿 |
定位精度 | 20um(X1\Y1/X2/Y2)；20um(Z1/Z2) |
重復精度 | ±10um(X1\Y1/X2/Y2)；±10um(Z1/Z2) |
最大速度mm/s | 1000(X1\Y1/X2/Y2)；300(Z1/Z2) |
最大加速度 | 0.8g(X1\Y1/X2/Y2)；0.3g(Z1/Z2) |
視覺定位系統 | 工業CCD |
用電需求 | 電壓220V，50HZ，電流16A |
氣壓需求MPa | 最小氣壓0.6 |
設備功耗W | ≦5000 |
重量 kg | 標準機：1500 |
計算機及軟件 | Windows 系統開發下軟件 |
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